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产品与服务 智慧物流装备 半导体智慧助手-AI拉晶解决方案
“半导体智慧助手 - AI 拉晶解决方案” 聚焦四大核心技术方向,依托机器学习、神经网络、视觉训练自动代操及泛半导体通用大模型,锚定行业大模型目标,立足垂类场景,持续探索完善 AI 技术在泛半导体产业链细分业务场景的落地应用。
半导体智慧助手-AI拉晶解决方案
“半导体智慧助手 - AI 拉晶解决方案” 聚焦四大核心技术方向,依托机器学习、神经网络、视觉训练自动代操及泛半导体通用大模型,锚定行业大模型目标,立足垂类场景,持续探索完善 AI 技术在泛半导体产业链细分业务场景的落地应用。
概述
“半导体智慧助手-AI拉晶解决方案”包含四个主要技术方向:Case 1: 基于机器学习的AI模型;Case 2: 基于神经网络算法模型;Case 3: 基于视觉训练的自动代操模型;Case 4: 基于泛半导体行业的通用大模型;基于以上四个技术方向落地泛半导体产业链中的细分业务场景的AI解决方案。以行业大模型为目标,以行业垂类场景为基础,不断探索完善AI技术在泛半导体行业中的应用方法。
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架构图
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功能描述
工艺参数动态优化
工艺参数动态优化
展开
基于梯度提升树机器学习模型,精准调控拉晶温度、切片转速等关键参数,适配拉晶断线预防、晶体电性参数预测、氧浓度精确控制等场景
全工序缺陷智能检测
全工序缺陷智能检测
展开
采用CNN卷积神经网络,识别截断裂纹、切片崩边等15类制程缺陷,适配刀具缺陷精确分析、崩边、划痕缺陷分析、划痕、颗粒残留分析等场景
设备 AI 自动化代操
设备 AI 自动化代操
展开
对切片机、倒角机实现 7×24 小时无人化操作,操作精度达 ±0.001mm,适配抛光转速AI控制、氧浓度精确控制等场景
良率预测与工艺追溯
良率预测与工艺追溯
展开
通过 LSTM 长短期记忆网络,预测不同尺寸硅片良率波动,追溯偏差根源
自动化代操
自动化代操
展开
针对拉晶工艺过程,结合集控系统实现AI机器人代操
优势亮点
行业级解决方案

基于半导体晶圆制造行业,覆盖晶体生长(拉晶、长晶)、截断、抛光、晶圆检测、外延等工序,根据行业细分场景利用AI技术开发垂类模型,解决客户在生产过程中遇到的问题

01
先进的AI技术

产品基于大模型驱动的AI4S(AI for Science)理念,跨领域整合知识,挖掘高维数据中的复杂结构,助力解决半导体拉晶工艺制程中效率提升及品质提升相关问题,实现工艺参数优化、缺陷检测、自动化代操、质量预测等核心功能

02
‌高精度实时控制‌

方案实现了操作精度达±0.001mm级别,响应时间≤0.5秒;实时数据采集与反馈调整(如每10秒采集直径数据),同时覆盖了异常情况自动预警和处理机制

03
‌高效自动化代操‌

在部分场景中方案可实现7×24小时无人化操作,降低人工干预,强化学习驱动的自适应参数调整,持续优化操作精度;完成对生产过程的实时监控与异常自动记录分析

04
‌数据驱动持续优化‌

方案建立完整的数据采集、存储、标注规范体系;可定期模型迭代更新机制,保持算法先进性;支持本地+云端混合存储保障数据安全

05
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